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Sputterquellen von AJA International

  "Stiletto" Hochvakuum-Sputterquellen
  Runde Targets
   Modell  Targetdurchm.
max. Targetdicke
(inch) 		 P max* 
(W)
DC/RF 		Maße Sputterkopf
Durchm. x Länge
(mm)
Sputterquelle Stiletto rund ST 10 1,0''
0,125'' 		150/150 45,7x38,1
ST 20 2,0''
0,250'' 		700/500 88,9x122,0
ST 30 3,0''
0,375'' ** 		1200/800 117,6x122,0
ST 40 4,0''
0,375'' ** 		1500/1000 143,0x122,0
 
* = materialabhängig
** = standardmäßig mit 0,25'' dickem Target geliefert

Konfiguration:
MM = Magnetische Materialien
R = Rechtwinklig
S = Kundenspezifisch
LP = Kleinstmögliche Einbaulänge

Montage:
UBQD = Universal-Quetschverschraubung (1'' - 34,5mm)
BQD = 1''-Quetschverschraubung (Aluminium)
FQD-xxx = Quetschverschraubung, eingeschweißt
PH-xxx = "Hutflansch" für geringere Einbautiefe

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